潔凈室（區(qū)）性能檢測

3.1通則

3.1.1 潔凈室（區(qū)）應(yīng)定期進(jìn)行性能測試。以認(rèn)證潔凈室（區(qū)）始終符合本規(guī)范的要求。

3.1.2 潔凈室（區(qū)）性能測試認(rèn)證工作，應(yīng)由專門檢測認(rèn)證單位承擔(dān)，并應(yīng)提交檢測報告。

3.1.3 測試和認(rèn)證工作之前，系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運(yùn)行。測試儀表應(yīng)在標(biāo)定證書有效使用期內(nèi)。

3.1.4 潔凈室（區(qū)）的占用狀態(tài)應(yīng)有空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)，其性能測試和認(rèn)證宜為靜態(tài)或動態(tài)。
3.2潔凈室（區(qū)）性能測試要求

3.2.1 確認(rèn)清凈室（區(qū)）符合本規(guī)范要求，應(yīng)進(jìn)行下列基本測試∶

1 空氣潔凈度等級測定；

2 靜壓差；

3 風(fēng)速或風(fēng)量。

3.2.2 空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量認(rèn)證測試的較長時間間隔應(yīng)符合。
靜壓差和風(fēng)速或風(fēng)量認(rèn)證的測試要求

注：1潔凈室（區(qū)）運(yùn)行中已對粒子濃度、風(fēng)速、靜壓差進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測，且其測試值均符合本規(guī)范要求時，認(rèn)證的測試時間間隔可延長，具體時間間隔，可與認(rèn)證單位洽商。

2 空氣潔凈度等級認(rèn)證，可在靜態(tài)或者動態(tài)檢測，洽商確定。

3 風(fēng)量測定，應(yīng)采用風(fēng)速計在風(fēng)口或風(fēng)管測定。

3.2.3電子工業(yè)潔凈室（區(qū)）的認(rèn)證測試，除空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量測試外，還應(yīng)根據(jù)需要進(jìn)行規(guī)定的洽商選擇測試項(xiàng)目。
潔凈室測試方法
4.1 風(fēng)量或風(fēng)速的測試

1.1 對于單向流潔凈室，應(yīng)采用截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量，并應(yīng)取離有效過濾器 300mm 垂直于氣流的截面作為測試平面。應(yīng)將測試平面分成相等的柵格，每個柵格尺寸應(yīng)為 600mm×600mm 或末端空氣過濾器尺寸，測點(diǎn)應(yīng)在柵格心點(diǎn)或不應(yīng)少于3 點(diǎn)。每一點(diǎn)的測試時間不應(yīng)少于10s。應(yīng)記錄平均值、大值和小值，并應(yīng)以算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。

4.1.2  對于非單向流潔凈室，每一點(diǎn)的測試時間不應(yīng)少于10s。3 在每個末端空氣過濾器或散流器處，應(yīng)采用風(fēng)口法、風(fēng)管法、風(fēng)罩法等測量送風(fēng)風(fēng)速確定送風(fēng)量，每個測試位置的測點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于3點(diǎn)。
4.1 風(fēng)量或風(fēng)速的測試

4.4潔凈度的檢測

4.1.1 應(yīng)使用采樣量大于 1 L/min 光學(xué)粒子計數(shù)器，應(yīng)根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書。
4.4.4 當(dāng)潔凈室（區(qū)）僅有一個采樣點(diǎn)時，則在該點(diǎn)應(yīng)至少采樣 3次。
4.5 氣流流型的檢測

4.5.1 氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。

4.5.2 氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注入法，并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室（區(qū)）的一種污染源。

4.5.3 示蹤線法應(yīng)為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。

4.5.4 示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性，在高強(qiáng)度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。

4.5.5 應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測，本法一般是與示蹤法結(jié)合，將在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。

4.5.6 氣流目測的測點(diǎn)位置、儀器等，應(yīng)根據(jù)潔凈室（區(qū)）的具體條件洽商確定。
4.6溫濕度的檢測

4.6.1 溫度、相對濕度的檢測應(yīng)在潔凈室（區(qū)）內(nèi)氣流分布均勻狀態(tài)測試，并應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后安排進(jìn)行。溫度、相對濕度檢測應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)運(yùn)轉(zhuǎn)，并應(yīng)至少穩(wěn)定運(yùn)行 1.0h后進(jìn)行。

4.6.2 相對濕度檢測應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積網(wǎng)格，每格較大面積應(yīng)為 100m2，應(yīng)每格—個測點(diǎn)，但每個房間不應(yīng)少于 2 個測點(diǎn)。

4.6.3 檢測用探測器應(yīng)設(shè)在潔凈室（區(qū)）內(nèi)的工作高度，且距潔凈室（區(qū)）的吊頂、墻和地面不應(yīng)少于 300mm。并應(yīng)考量潔凈室（區(qū)）內(nèi) 可能存在的熱源的影響。

4.6.4 檢測時間應(yīng)至少1.0h，并應(yīng)至少6min 進(jìn)行 1 次（30s）讀數(shù)、記錄。
4.7 噪聲檢測

4.7.1 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的噪聲檢測應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級計。

4.7.2 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的噪聲檢測點(diǎn)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測點(diǎn)宜距地面 1.1～1.5m，距墻應(yīng)大于 3m；檢測點(diǎn)的布置宜按清凈室（區(qū)）面積均分，宜每 100m2設(shè)一檢測點(diǎn)。
4.8照度測試

4.8.1 潔凈室（區(qū)）內(nèi)照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。

4.8.2 照度檢測應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室（區(qū)）照度檢測不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。

4.8.3 照度檢測點(diǎn)應(yīng)設(shè)在工作高度，宜距地面 0.85m，應(yīng)每 25m2設(shè)一個測點(diǎn)。