關(guān)于潔凈室檢測各項目的方法總結(jié)，下邊一起來了解下吧：

一、說明

過濾網(wǎng)的泄漏測試應當是無塵室測試中，較復雜、較耗時間的測量項目。泄漏測試的目的，是要確認：

1. 濾網(wǎng)的材料無破損，

2. 安裝恰當。

濾網(wǎng)出廠前當然要經(jīng)過泄漏測試，但是在搬運與安裝過程難保完全無損，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認濾材無任何泄漏。另外，若是安裝不恰當，微粒會從邊框漏進無塵室風口。就算是 FFU 系統(tǒng)，天花板上是負壓，若是邊框機有微粒日后仍舊會產(chǎn)生問題。因此，邊框掃描一樣重要。濾網(wǎng)泄漏測試基本上是利用濾網(wǎng)上游的顆粒，然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式，適用在不同的場合。

測試方式有：

1. 氣膠光度計測試法， 2. 微粒計數(shù)器測試法， 3. 效率測試法， 4. 外氣測試法。后兩種現(xiàn)在使用非常少。

二、方法

氣溶膠光度計測試法

氣膠光度計測試法是早期的測試方式，但是因為效果非常好，到今天仍舊沿用。氣膠光度計（ Aerosol Photometer ）是微粒計數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強度，不是微粒數(shù)目。DOP 是一種油性化學物質(zhì)，現(xiàn)改用PAO,加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級的微粒，可用來模擬無塵室的微粒，因此被當成驗證微粒。微粒計數(shù)器測試法

半導體業(yè)方面，早期也是使用 DOP/PAO 與氣膠光度計，但是隨著制造密度增加，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無塵室使用，因此出現(xiàn)使用干式灰塵當成挑戰(zhàn)微粒，在上游施放，然后用微粒計數(shù)器在下游掃描，尋找泄漏，基本概念完全相同。經(jīng)過科學家一步步研究結(jié)果，發(fā)現(xiàn) PSL 因為微粒的粒徑與濃度可以控制，因此是目前廣為使用的標準微粒。使用時只要把 PSL 溶液霧化，導入濾網(wǎng)上游即可。

潔凈度測試

一、說明

潔凈度測試是無塵室性能測試的核心，氣流測試、壓力測試，與泄漏測試，都只在確認無塵室的潔凈度不受外來影響，因此潔凈度測試都放在前述幾項測試都通過之后。潔凈度測試完畢，與落塵有關(guān)的性能因素就都測試完畢，其它測試對潔凈度影響不大，或是屬于其它環(huán)境測試。

二、測試儀器

潔凈度測試使用微粒計數(shù)器，儀器須經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)，交附報告時須附合格之校正文件。微粒計數(shù)器有不同規(guī)格，常見的是流量 1cfm ，小粒徑可測到 0.3mm 或是 0.1mm ，單位多是立方英呎。至于應使用何種設(shè)備，要依業(yè)主的規(guī)范而定。一般在產(chǎn)業(yè)界，多依以下方式選擇微粒計數(shù)器。

Class 1000 或更高：0.5μm

Class 100 ：0.3μm ，0.5um

Class 1 到 Class 10 ：0.1μm

若是業(yè)主要求的粒徑范圍超過單一微粒計數(shù)器的范圍，則應該使用兩部微粒計數(shù)器。目前市面上少見立方公尺的微粒計數(shù)器，因此若是無塵室的潔凈度是以 ISO 為基準，則要把結(jié)果作換算。單位換算，不影響上限的計算程序。

三、測試步驟：

(1) 確定空調(diào)系統(tǒng)之測試調(diào)整與平衡已完成，濾網(wǎng)之風速及泄漏測試均已完成，并已修換破損部分。

(2) 確認測試位置與測試點數(shù)。

(3) 取樣時間：每點的取樣時間依照等級與粒徑不同而異，若取樣時間小于一分鐘，則以一分鐘為準。

(4) 測試位置應均勻分布在無塵室內(nèi)，避免在產(chǎn)生大量粒子之附近，且將檢測儀器以適當之架臺支撐，不可以手持支撐。

(5) 測量點數(shù)以公式計算（與 209E 相同）。

四、驗收標準：

潔凈度的驗收基準有二，首先是每點的微粒測量平均值須低于規(guī)定值。潔凈度的二個驗收基準就是，任一隔間若需使用信賴度上限分析，則該分析值也須小于規(guī)定值。

風速及平衡性測試

一、測試目的

氣流是控制潔凈度與溫濕度的為主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風速測量，都是放在無塵室測試的一步。風速測量的目的，是確認濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計規(guī)范，其次是確認氣流的均勻度。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制，室內(nèi)換氣量還須用風速乘以出口面積來換算。

單流向型無塵室，很多都是設(shè)計成垂直層流，因此風速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單流向型無塵室，由于微?？刂频挠^念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠比風速重要。但是需注明是濾網(wǎng)風速測量或是無塵室室內(nèi)風速測量。

二、 使用儀器

無塵室里面使用的 HEPA/ULPA 濾網(wǎng)，其送出氣流的速度多半都控制在 0.5m/s 以內(nèi)，因此所使用的風速計須是低速型。濾網(wǎng)風速測量可使用單點式風速計如電子式壓力計配合皮氏管、熱線式風速計。也可以使用多點式風速計如 Shortridge Velgrid 16 點風速計。輪葉式風速計因使用范圍不同，通常不在無塵室內(nèi)使用。熱線式風速計（ Hot Wire ）雖然高頻響應良好，但是低速時 〈 0.5m/s 以下 〉 準確性很低，因此不很適用，一般熱反應風速計常用的是 Thermeister 式風速計。轉(zhuǎn)輪式風速計由于本身重量問題，也不適用低速。檢驗儀器須經(jīng)校正合格，且仍在有效期限內(nèi)。

三、 測試步驟

(1) 在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號。

(2) 取樣點位于濾網(wǎng)下方 75-150mm 處。

(3) 每一個濾網(wǎng)下，若是使用單點式風速計，則每 1 平方英尺取一點；若是使用多點式風速計，則每 4 平方英尺取一點。

(4) 每測量點須取 5 秒的平均。

(5) 依驗收標準分析所有風速，計算平均值、標準差、相對標準差，并標明不合格測試點。

(6) 記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。重要的是在非單流向型無塵室測試時，特別注意取樣時風速計不可受到干擾，以免影響準確度。

四、數(shù)據(jù)分析

風速測量很簡單，但是均勻度須由數(shù)據(jù)分析來判定。均勻度是由相對標

準差來代表，其計算步驟如下。

1. 平均值：2. 標準差

風量及平衡性測試

一、說明

風量測量的目的通常是用來計算換氣量，一般是在非單流向型無塵室，或是測量空調(diào)系統(tǒng)中各式各樣的出風口、回風口、排氣口等的風量時使用。只有在無法使用氣罩的場合（氣罩體積較大，有時會受限制），才能使用風速乘以面積等于風量的方式，用風速來換算風量。使用風速換算風量時，須注意出風口之有效面積以及修正系數(shù)的取得。在回風口和排氣口，使用換算法的準確度非常差，應盡量避免。同樣氣罩通?？梢詼y量送風與回風，正值代表送風，負值代表回風或排氣。須注意的是反向測量時，其測量范圍通常會降低。

二、測試儀器

風量測量應當使用氣罩（ Flow Measuring Hood ），氣罩的測量范圍是 15~2500 cfm ，準確度要求為讀數(shù)的 ±百分之3。由于氣罩本身會產(chǎn)生壓損，因此其形狀很重要，應盡量使用原廠氣罩。若有必要自行制造罩子，應注意氣流順暢并且做詳細比對。氣罩的校正非常重要，須主機連同罩子一起校正，才能得到準確校正值。檢驗時須使用校正合格且仍在有效期限的儀器，于正式檢測前及繳交報告時均須檢附合格之校正文件。

三、測試步驟：

(1) 在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號。

(2) 使用恰當尺寸氣罩將出風口完全罩住，然后測量與計錄。

(3) 依驗收標準分析所有風量，計算平均值、標準差、相對標準差，并標明不合格測試點。

(4) 記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。

四、 數(shù)據(jù)分析：

風量均勻度的計算與風速向同，都是由相對標準差來代表，其計算步驟如下。

1.平均值：將所有風測量量值取算數(shù)平均

2. 標準差：計算所有風測量量值的標準差

壓差測試

一、 說明

壓力測量的目的是確認無塵室空調(diào)系統(tǒng)的壓力設(shè)定。無塵室內(nèi)維持相當?shù)恼龎阂跃S持潔凈度，這已經(jīng)是個 common sense ，在 209 的舊版本中，正壓有建議值，但是后來就取消了。目前常見的正壓值約是 10 到 25 Pascal 之間。壓力測量的時機，應該是在風速、風量、平行度等與氣流直接相關(guān)的測試結(jié)束之后立即測量，尤其不可在潔凈度測量完畢之后才測量壓力。因為如果壓力不對，要立刻調(diào)整以免影響潔凈度。測量時，所有門窗都須關(guān)上，所有的風扇也須維持正常運轉(zhuǎn)。

二、測試儀器

壓力測量可使用傾斜管壓力計，指針式壓力計，或是電子式壓力計，總之只要測量范圍與準確度滿足要求即可。壓力計之準確度要求為讀數(shù)的 ±百分之5 ，測量范圍式壓力設(shè)計值而定，一般 0~5mm Aq （ 0–50 Pascal ）即可涵蓋室內(nèi)外壓力差之測量。儀器需經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)之才可以使用，檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。

三、測試步驟

須在風速、風量、氣流等測試完成后，才能測試壓力，并且排氣與 MAU 要完全正常運轉(zhuǎn)。

全部門與開口都要關(guān)閉。室外大氣壓力假設(shè)為 0.0mmAq 表壓力。

測定潔凈區(qū)域與相鄰較次級潔凈區(qū)域之壓差，再測量房間與 Gowning room 之間壓差，之后測量 Gowning room 與外部之壓差。

建議壓差值為 5~12Pa ，并無強制規(guī)定。記錄所有數(shù)值。

溫濕度檢測

一、說明

溫濕度測量的目的是確認室內(nèi)之溫濕度控制在范圍之內(nèi)，溫濕度對微粒控制沒有甚么影響，因此溫濕度測試屬于第三級測試（ Level 3 ）。但是因無塵室多半同時也是環(huán)控室，所以溫濕度常常就一并測量了。溫濕度測量又分為一般測量和進階測量（ General Tests and Comprehensive Tests ），一般測量只是測量溫濕度在測量點的實時數(shù)據(jù)（單一測數(shù)據(jù)），適用在對溫濕度要求不高的場所。進階測量就要紀錄在測量點一段長時間的溫濕度，目的是要觀察溫濕度隨時間的變化情形，以確認濕度在控制之下。進階測量適用在對溫濕度要求比較高的場所。

二、測試儀器：

常見的溫濕度儀器是電子式溫度計與鏡面冷凝光學式濕度計，一般測量和進階測量使用儀器的精度相同，溫度測量范圍是 0-100 ℃ ，準確是 ±0.2 ℃ 。濕度測量范圍是 10 ﹪ 到 95 ﹪ ，準確度是 ±2 ﹪ 。一般測量要求溫度之顯示值可顯示 0.1 ℃ 的變化，濕度的顯示值可顯示 1 ﹪ 的變化。進階測量則要求溫度之顯示值可顯示 0.05 ℃ 的變化，濕的顯示值可顯示 0.1 ﹪ 的變化。檢測儀器需校正合格且仍在有效期限內(nèi)者，于測試前或交附報告時均須檢附合格之校正文件。

三、測試程序：

確認空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)安裝完成，并已完成測試、調(diào)整、平衡?？照{(diào)系統(tǒng)測試、調(diào)整、平衡可以平衡風量和水量，使其達到設(shè)計要求，為溫濕控制提供正確的運轉(zhuǎn)環(huán)境，因此系統(tǒng)要先平衡才能測試。

依據(jù)平面圖，列出各種溫濕度要求區(qū)域，并使系統(tǒng)達到正常運轉(zhuǎn)狀況，系統(tǒng)應在溫濕度自動控制之下，至少運轉(zhuǎn) 24 小時以上。

測試點數(shù)為每個房間至少量一點，并且每個溫濕度控制區(qū)至少量一點，例如每個 Dry Coil 的控制范圍要量一點，測量高度為 ( 高架 ) 地板上 1.00m 。

將溫濕度傳感器放置同一位置，待穩(wěn)定后開始記錄。

光照度測試

一、測前準備

潔凈室所有開孔皆需封閉氣密處理完成

測試前空調(diào)系統(tǒng)應已完成測試、調(diào)整、平衡，并已連續(xù)運轉(zhuǎn)24小時以上。潔凈室環(huán)境需清潔完成

二、測試目的

此檢測動作在于確認無塵室照明系統(tǒng)是否有達到設(shè)計要求。

三、測試儀器

專業(yè)照度儀

四、測試步驟

無塵室光源至少使用100小時以上，測試前需點亮2小時以上。

確認測試點及配置圖編號。

將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度，待數(shù)值穩(wěn)定后量測10秒記錄。

噪音度測試

一、檢測準備

竣工圖面（初版）與相關(guān)規(guī)范確認

潔凈室所有開孔皆需封閉氣密處理完成。

測試前空調(diào)系統(tǒng)應已完成測試、調(diào)整、平衡，并已連續(xù)運轉(zhuǎn)24小時以上。潔凈室環(huán)境需清潔完成。

二、測試目的

此檢測動作在于確認無塵室噪音是否有達到設(shè)計要求。

三、測試儀器

專業(yè)噪音儀

四、測試位置

每40m2取1點為量測點，另針對業(yè)主要求局部增加測試點數(shù)。

五、測試步驟：

a.無塵室所有空調(diào)設(shè)備及公用設(shè)備均為運轉(zhuǎn)狀態(tài)。

b.確認測試點及配置圖編號。

c.將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度，高度量測10秒后記錄為大值。

氣流流向檢測

一、 測試目的

平行度測量的目的，是觀察在工作區(qū)域里面氣流的運動模式，同時也可以觀察儀器設(shè)備對氣流的影響。平行度測量應該在氣流的風速與均勻度都測試完畢且通過之后進行，過早進行可能得不到正確的數(shù)據(jù)。

二、 測試方法

一般而言平行度的測量，是由肉眼觀察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧、 PFA 、和輕質(zhì)棉線。。煙霧或水霧的共同優(yōu)點是只要粒子夠小，煙霧可隨風飄揚，可正確的反映氣流運動模式。但是其共同問題是滯空性不足，觀測時間太短。測量平行度需要花一些時間，因此需要大量煙霧或水霧，對無塵室可能造成污染。另一種方式是使用輕質(zhì)細線，讓細線隨風飄舞，然后測量氣流平行度。在無塵室內(nèi)普遍使用新的高分子材料 Flo-Viz ，是用尼龍抽成單絲所制成，由于質(zhì)量很輕因此適合作無塵室平行度測量。測量平行度的方法是立一根鉛垂線，然后在濾網(wǎng)下方施放煙霧或是安放細線，之后觀察所施放煙霧與鉛垂線的夾角，或是測量細線與鉛垂線的夾角，就可決定氣流的平行度。

三、測試儀器

1. 支架 2. 鉛垂線 3.Flo-Viz 細線 4 .氣流流向檢測儀

四、測試步驟

1. 用支架設(shè)立垂線作為基準線。

2. 將細線在室內(nèi)懸吊，使其自然下垂，細線會隨空氣流向飄移。計算偏移角 =tan-1( 懸吊線徧移量 /1220) 。6. 每 3m×3m 區(qū)域量 1 點。若是使用煙霧，其方式很類似，就是在濾網(wǎng)下施放煙霧，然后將鉛垂線的上端點移動到與煙霧相接觸，將紅線當成煙霧，再計算夾角就可以了。